현재 반도체 공급의 중요한 변수는 설비투자를 위한 자금확보 문제 뿐 아니라, 미세공정 적용을 위해 필수적인 '이머젼 리토그래피(immersion lithography) 장비'를 얼마만큼 많이 보유하고 있는가이다.

이러한 가운데 반도체 제조 공정에서 가장 비중이 높은 리토그래피 장비를 만드는 회사인 ASML의 실적이 발표됐다. 이 회사는 이머젼 리토그래피 장비를 독점적으로 공급하고 있다.

ASML의 1분기 실적을 보면 매출액은 7억4000만유로로 전분기 대비 27.8% 증가했으며, 영업이익은 1억4000만유로로 101.9% 증가했다. 영입이익률은 18.5%로 전분기 11.7%에서 6.8%p 상승했다.

회사의 1분기 수주는 50대였으며 이중 이머젼 장비는 24대, 공급한 장비는 17대였다. 주로 한국과 대만의 DRAM 업체에 공급됐으며, 업계에서는 삼성전자와 하이닉스에 집중된 것으로 보고 있다.  

이번 실적과 관련, 20일 메리츠종금증권 이선태 연구원은 "아직 이머젼 장비 공급이 원활하게 이뤄지지 않고 있다"고 지적했다.

그는 "장비를 만들 수 있는 공간과 인원을 늘렸지만, 이머젼 장비의 핵심 부품인 렌즈와 레이저 소스 수급이 원활하지 않기 때문에 생산 지연은 장기화될 전망이다"고 분석했다.

반면 업체들은 경기 회복으로 반도체 수요가 증가하면서 추가적인 설비투자 확대 움직임을 보이고 있다.

1분기까지는 주로 DRAM 업체들의 주문이 증가했으나, 2분기부터는 NAND 플래시, 파운드리, 인텔 등이 주문을 늘릴 전망이다.

기존 IDM들의 아웃소싱 확대로 파운드리 생산 설비가 부족 상태를 보이면서 파운드리 업체들이 공격적인 투자를 하고 있다. TSMC는 올해 신규 라인을 건설하는 등 설비투자 규모가 전년대비 74% 증가한 47억달러에 이를 전망이다.

이 연구원은 "공급이 한정된 상황에서 다양한 반도체 업체들의 주문 증가는 DRAM 업체들이 받을 수 있는 장비가 그만큼 줄어들기 때문에 현재 이머젼 장비의 수급 문제는 장기화될 것이다"고 전망했다.

이머젼 장비 경쟁구도 변화 가능성도 현재로서는 제한적이다.

ASML의 독점 가운데 Nikon이 일부 업체에 공급을 시작했지만, 아직 장비의 성능 및 생산성은 ASML에 미치지 못해 업체들의 대량 주문은 이뤄지지 않고 있는 실정이다.

반도체 수요가 큰 폭으로 증가하는 상황에서 공급이 이를 제대로 따라가지 못하는 상황이 이어지고 있어, 현재의 업황 호조는 장기화될 것으로 예상된다.