DN솔루션즈는 반도체 산업에 필수적인 고정밀 연삭가공기 'DNC 시리즈'를 출시했다고 4일 밝혔다.

이 장비는 반도체 웨이퍼 공정에 쓰는 포커스링 등 부품을 만들기 위해 설계됐다.

포커스링(Focus Ring)은 주로 건식 식각 공정이나 플라즈마 CVD(증착) 공정에서 웨이퍼를 고정하고 플라즈마를 균일하게 집중시키는 역할을 하는 부품이다.

웨이퍼 주변에 위치하여 플라즈마가 정확한 위치에 균일하게 모이도록 하여 식각 균일도를 높이고, 웨이퍼 가장자리와 고가 부품인 ‘ESC’를 보호하는 버퍼 역할도 수행한다.

주로 실리콘(Si)과 실리콘 카바이드(CVD SiC) 재질로 만들어지며, SiC 링은 플라즈마 저항성이 뛰어나고 내마모성이 우수한 것으로 알려졌다.

SiC가 비용은 높으나 수명이 길고 식각량도 적어 최근에는 반도체 생산성 향상에 중요한 역할을 담당하고 있다.

반도체용 고정밀 가공기 'DNC 시리즈' [DN솔루션즈 제공]

다만 포커스링은 플라즈마 노출 및 식각에 따라 마모되기에 주기적인 교체가 필요한 소모재다.

석영과 세라믹, 실리콘카바이드 등 포커스링의 소재는 가공이 어렵기에 이번 DNC 시리즈는 최대 1만rpm과 7.5㎾의 고출력 스핀들(회전축)을 갖추고 진동을 최소화해 정밀성을 높였다.

또 DN솔루션즈는 다양한 기능을 통합해 한 차례의 셋업으로 내경·외경·홀·윤곽 가공을 한 번에 처리하는 높은 생산성을 구현했다고 밝혔다.

DN솔루션즈 관계자는 "DNC 시리즈는 국내 반도체 소재 가공장비 시장의 절반, 일부 공정에서는 80%에 가까운 점유율을 차지하고 있다"라고 말했다.

이어 "오랜 노하우와 현장 경험을 바탕으로 개발된 제품으로 반도체 장비 국산화와 기술 경쟁력 강화에 큰 역할을 할 것"이라는 포부를 밝혔다.